豪利777

激光干预仪-精度标定


  接纳英国雷尼绍的激光干预仪和瑞典 ?怂箍档亩卧雀呔缺甓ㄒ堑魇怨ぞ摺

  激光干预仪具有超高区分率 ,可达0.001μm。我们对各运动轴进行高精度标定 ,绝对定位精度小于±1μm。重复定位精度小于±0.5μm。配合先进的龙门双驱算法 ,为高精度豪利777装工艺提供可靠包管。

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