豪利777

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豪利777MicroASM AMS 倒装键合机

AM-S平台是公司开发的离线式全自动豪利777装系统,可以搭载吸嘴加热 ?椤⒘吓/晶圆安排盘、超声 ?椤⒓す饧尤饶 ?椤V点胶及固化 ?椤⑷鹊凹姿峁ひ毡;て迥 ?椤⒒自と饶 ?椤⒗碳嗫啬 ?椤⑿酒棺昂附幽 ?。??????该平台接纳大理石桥式结构,焦点运动相关部件接纳以色列军工品牌ELMO驱动系统加荷兰顶级直线驱动电机TECNOTION,可以实现0.1μ区分率,单轴0.5μ重复定位精度。?????公司开发的软件系统集成设备内部恒温控制、贴装精度自整定、贴装数据剖析等功效 ? ?梢晕畋鸬目突枨蠖ㄖ乒ひ樟鞒獭⑷砑⒛ ?,最大化将设备的应用与客户实际工艺深度结合。?产品视频

要害词:


  • 产品描述
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  • 应用领域
  • 相关工艺
  • 产品优势
  • 豪利777MicroASM AMS 倒装键合机

            AM-S平台是公司开发的离线式全自动豪利777装系统,可以搭载吸嘴加热 ?椤⒘吓/晶圆安排盘、超声 ?椤⒓す饧尤饶 ?椤V点胶及固化 ?椤⑷鹊凹姿峁ひ毡;て迥 ?椤⒒自と饶 ?椤⒗碳嗫啬 ?椤⑿酒棺昂附幽 ?。  

            该平台接纳大理石桥式结构,焦点运动相关部件接纳以色列军工品牌ELMO驱动系统加荷兰顶级直线驱动电机TECNOTION,可以实现0.1μ区分率,单轴0.5μ重复定位精度。 

            公司开发的软件系统集成设备内部恒温控制、贴装精度自整定、贴装数据剖析等功效 ? ?梢晕畋鸬目突枨蠖ㄖ乒ひ樟鞒獭⑷砑⒛ ?,最大化将设备的应用与客户实际工艺深度结合。

     
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  • 型号

    AM-5S

    AM-10S

    功效 ?

    参数

    贴放精度

     ±2.5μm 3sigma

    ±5μm 3sigma

    照明系统

    RGB全色域环形光源

    事情方法

    线全自动  

    线全自动

     历程监控系统(选配)

    可录像

    事情规模

    200*300mm 

    200*300mm

    夹持型拾取工具头

      定制     

    贴装器件尺寸规模

    0.03-40mm

    0.03-40mm

    吸嘴

      定制     

    综合贴装精度

    ±2.5μm 3sigma

    ±5μm 3sigma

     牢固上料方法  

    Gel-pack,Tray,Wafflepack等

    XY驱动形式

    直线电机

    直线电机

    共晶 ?(选配)

    30℃~500

    行程

    X:300mm Y:350mm

    X:300mm Y:350mm

      工艺;て(选配)

       热氮

     

    Z:150mm  T:360°

     Z:150mm  T:360°

    点胶系统(选配)  

     武藏点胶系统兼容UV点胶、环氧胶、银胶

    XY轴解析度

     0.5μ

    固化系统(选配) 

    紫外线固化/热固化

    Z轴解析度

     0.5μ

    高度丈量(选配)

     基恩士激光丈量0.005mm

    T轴解析度

    0.003°

    0.005°

     激光热压键合系统(选配)

     MicroASM 25-1000℃

    键协力控制

     20-500g 

    20-500g 

    接入要求

     220市电10A0.5Mpa压缩空气   

    上部视觉系统

    外形尺寸  

     长X宽X高:1000X1000X1800mm(不包括显示器)

    下部视觉系统

     1μ 

     2μ 

    重量

    1000kg

     

     

  •   MEMS封装

      倒装芯片键合

      正装芯片键合

      晶圆级封装

      光 ?榉庾

      传感器封装

      Mini LED贴装

  •   激光加热

      胶粘工艺

      固化 (紫外线、温度)

      共晶焊\金锡、铟

      微机电系统组装

      热压

      晶圆级高精度粘片

  •   可凭据差别客户需求量身定制功效 ?

      可凭据差别客户需求定制工艺流程

      晶圆级高精度芯片贴装

      机械可实现自动化组装制止人员因素影响

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